冷凝水泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱(chēng)冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空泵,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無(wú)污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢,被廣泛的應用于科學(xué)研究實(shí)驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域,如半導體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設備、太陽(yáng)能制造業(yè)、真空鍍膜
冷凝水泵
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